반도체 전공정 밸류체인에 대해서 알아보겠습니다.
산화공정 밸류체인
(1) RTP장비(급속 열처리 장비)
짧은 시간 내에 웨이퍼를 고온으로 처리하는 장비
원익IPS, AP시스템
(2) 드라이 클리닝 장비
웨이퍼 위의 제거 불가능한 자연물 들을 제거하는 장비
피에스케이
노광(포토)장비 밸류체인
(1) DUV 장비
ArF(193nm), KrF(248nm)의 광원을 사용
ASML(80%), 니콘
(2) EUV 장비
13.5nm의 광원을 사용(미세공정 구현 가능)
7나노 이하의 미세공정에 도입(D램도 도입)
ASML(100%), 사이머(광원)
포토마스크 밸류체인
(1) 포토마스크
에스앤에스텍
(2) 펠리클
마스크 보호부품
에스앤에스텍, 에프에스티
(3) 감광액
동진쎄미켐, 영창케미칼, 이엔에프테크(원료)
(4) PR strip
감광액 제거 장비 : 피에스케이
마스크 결함 발견 : 파크시스템스
식각 공정 밸류체인
(1) 식각액
솔브레인, 이엔에프테크놀로지
(2) 쿼츠
원익 QNC, 비씨앤씨(합성)
(3) 파츠 (Before)
하나머티리얼즈(SiC), 티씨케이(SiC)
(4) 파츠 (After)
월덱스(Si), 케이엔제이(SiC)
(5) 전구체
디엔에프, 한솔케미칼
(6) PR Strip
피에스케이
(7) 특수가스
원익머트리얼즈
(8) 스크러버
유니셈, GST
(9) 건식 장비
램리서치, 에이피티씨
증착공정 밸류체인
(1) CVD
장비 : 원익 IPS, 테스, 주성엔지니어링
(2) ALD
원익IPS, 유진테크, 주성엔지니어링, 지오엘리먼트(부품)
(3) High-k
소재 : 디엔에프, 레이크머티리얼즈, 덕산테코피아
장비 : HPSP 고압수소 어닐링 장비
(4) 소모성 부품
원익 QNC, 월덱스
연마공정 밸류체인
(1) CMP 장비
케이씨텍
(2) CMP slurry
케이씨텍, 솔브레인
세정공정 밸류체인
(1) 세정장비
제우스, 디바이스이엔지
(2) 세정재료
한솔케미칼, 원익머티리얼즈
(3) 부품 세정/코팅 서비스
코미코, 한솔아이원스, 원익 QNC
테스트공정 밸류체인
(1) 계측장비
웨이퍼
넥스틴, 오로스테크놀로지
(2) AFM
파크시스템스
(3) 프로브 카드
티에스이, 마이크로프랜드, 샘씨엔에스
(4) 테스트 핸들러
테크윙
(5) 웨이퍼 테스트
와이아이케이
(6) 번인 테스트
엑시콘, 네오셈, 유니테스트, 디아이
인프라 장비 밸류체인
(1) CCSS
한양이엔지, 에스티아이, 오션브릿지
(2) 진공펌프
엘오티베큠
(3) 클린룸
세보엠이씨
(4) 칠러/스크러버
유니셈, GST, 지앤비에스엔지니어링
(5) 웨이퍼 이송
싸이맥스
(6) 피팅
아스플로
지금까지 반도체 전공정 밸류체인에 대해서 알아보았습니다.
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