반응형 증착공정1 반도체 전공정 밸류체인 반도체 전공정 밸류체인에 대해서 알아보겠습니다. 산화공정 밸류체인 (1) RTP장비(급속 열처리 장비) 짧은 시간 내에 웨이퍼를 고온으로 처리하는 장비 원익IPS, AP시스템 (2) 드라이 클리닝 장비 웨이퍼 위의 제거 불가능한 자연물 들을 제거하는 장비 피에스케이 노광(포토)장비 밸류체인 (1) DUV 장비 ArF(193nm), KrF(248nm)의 광원을 사용 ASML(80%), 니콘 (2) EUV 장비 13.5nm의 광원을 사용(미세공정 구현 가능) 7나노 이하의 미세공정에 도입(D램도 도입) ASML(100%), 사이머(광원) 포토마스크 밸류체인 (1) 포토마스크 에스앤에스텍 (2) 펠리클 마스크 보호부품 에스앤에스텍, 에프에스티 (3) 감광액 동진쎄미켐, 영창케미칼, 이엔에프테크(원료) (4) .. 2023. 12. 5. 이전 1 다음 반응형
